3D simulation of sputter etching with the Monte-Carlo approach (Englisch)
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2011
- Hochschulschrift / Elektronische Ressource
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Titel:3D simulation of sputter etching with the Monte-Carlo approach
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Weitere Titelangaben:3D Simulation des Zerstäubungsätzens mittels der Monte-Carlo Methode
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Beteiligte:Kunder, Daniel ( Autor:in )
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Hochschulschrift:Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2010
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:2011
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Format / Umfang:Online-Ressource (PDF-Datei: 143 S., 3309 KB)
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Medientyp:Hochschulschrift
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Klassifikation:
DDC: 671.735 -
Datenquelle: