Herstellung und Analyse thermisch oxidierter SOI-Nanowires — [Elektronische Ressource] (Deutsch)
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2012
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ISBN:
- Hochschulschrift / Elektronische Ressource
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Titel:Herstellung und Analyse thermisch oxidierter SOI-Nanowires
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Beteiligte:Horn, Oliver ( Autor:in ) / Müller, Jörg / Brinkmeyer, Ernst ( Gutachter:in ) / Technische Universität Hamburg-Harburg, Institut für Mikrosystemtechnik
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Hochschulschrift:Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Institut für Mikrosystemtechnik, Diss., 2012
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Ausgabe:[Elektronische Ressource]
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Verlag:
- Neue Suche nach: Techn. Univ. Hamburg-Harburg, Univ.-Bibl.
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Erscheinungsdatum:2012
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Format / Umfang:Online-Ressource (PDF-Datei: III, 170 S. S., 5.057 KB)
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Anmerkungen:Ill., graph. Darst.
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ISBN:
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Medientyp:Hochschulschrift
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Schlagwörter:
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Klassifikation:
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Datenquelle: