Verbundprojekt SiliziumDS12plus - Steigerung der Produktionsleistung der Silizium-basierten Dünnschichtmodulfertigung durch verbesserte Moduleffizienz bei hohen Abscheideraten : Abschlussbericht : Laufzeit: 01.07.2011-31.10.2014 (Deutsch)
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2014
- Report / Elektronische Ressource
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Titel:Verbundprojekt SiliziumDS12plus - Steigerung der Produktionsleistung der Silizium-basierten Dünnschichtmodulfertigung durch verbesserte Moduleffizienz bei hohen Abscheideraten : Abschlussbericht : Laufzeit: 01.07.2011-31.10.2014
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Weitere Titelangaben:Steigerung der Produktionsleistung der Silizium-basierten Dünnschichtmodulfertigung durch verbesserte Moduleffizienz bei hohen Abscheideraten
Generatorentwicklung 40.68 MHz für Plasma-Anwendungen
Abschlussbericht "SiliziumDS12plus"
Teilvorhaben: Generatorentwicklung 40.68 MHz für Plasma-Anwendungen -
Beteiligte:Gruner, Daniel ( Mitwirkende:r ) / Krausse, Daniel ( Mitwirkende:r ) / TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG ( Herausgebendes Organ )
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Verlag:
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Erscheinungsort:Freiburg
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Erscheinungsdatum:2014
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Format / Umfang:1 Online-Ressource (46 Seiten, 2.677 KB)
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Anmerkungen:Illustrationen
Förderkennzeichen BMWi 0325317D. - Verbund-Nummer 01093685
Literaturverzeichnis: Seite 45
Titel des Teilvorhabens der Kurzfassung des Abschlussberichts entnommen
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Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
DOI:
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Medientyp:Report
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Reportnr. / Förderkennzeichen:0325317D, 01093685
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Schlagwörter:
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Klassifikation:
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