The patterning toolbox FIB-o-mat: Exploiting the full potential of focused helium ions for nanofabrication (Englisch)
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- Aufsatz (Zeitschrift) / Elektronische Ressource
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Titel:The patterning toolbox FIB-o-mat: Exploiting the full potential of focused helium ions for nanofabrication
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Beteiligte:Deinhart, Victor ( Autor:in ) / Kern, Lisa-Marie ( Autor:in ) / Kirchhof, Jan N. ( Autor:in ) / Juergensen, Sabrina ( Autor:in ) / Sturm, Joris ( Autor:in ) / Krauss, Enno ( Autor:in ) / Feichtner, Thorsten ( Autor:in ) / Kovalchuk, Sviatoslav ( Autor:in ) / Bolotin, Kirill I. ( Autor:in ) / Reich, Stephanie ( Autor:in )
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Erscheinungsdatum:01.01.2021
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Anmerkungen:doi:10.3762/bjnano.12.25
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Klassifikation:
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Lizenzbestimmungen:
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