Prediction of Tool Recipe Runtimes in Semiconductor Manufacturing (Englisch)
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2021
- Hochschulschrift / Elektronische Ressource
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Titel:Prediction of Tool Recipe Runtimes in Semiconductor Manufacturing
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Beteiligte:Sadek, Karim ( Autor:in ) / Hardt, Wolfram / Harradi, Reda / Brandl, Holger / Technische Universität Chemnitz
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Erscheinungsdatum:04.10.2021
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Medientyp:Hochschulschrift
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Klassifikation:
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Datenquelle: