Characterization of Argon/Hydrogen Inductively Coupled Plasma for Carbon Removal over Multilayer Thin Films (Englisch)
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Titel:Characterization of Argon/Hydrogen Inductively Coupled Plasma for Carbon Removal over Multilayer Thin Films
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Beteiligte:Wang, Yi ( Autor:in ) / Gehring, Tim ( Autor:in ) / Jin, Qihao ( Autor:in ) / Dycke, Jan ( Autor:in ) / Kling, Rainer ( Autor:in )
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Erscheinungsdatum:06.02.2023
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Anmerkungen:Coatings, 13 (368), Article no: 368 ; ISSN: 2079-6412
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Klassifikation:
DDC: 620 -
Lizenzbestimmungen:
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Datenquelle: