Gas rarefaction effects during high power pulsed magnetron sputtering of groups IVb and VIb transition metals in Ar (Englisch)
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- Aufsatz (Zeitschrift) / Elektronische Ressource
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Titel:Gas rarefaction effects during high power pulsed magnetron sputtering of groups IVb and VIb transition metals in Ar
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Beteiligte:Greczynski, Grzegorz ( Autor:in ) / Zhirkov, Igor ( Autor:in ) / Petrov, Ivan ( Autor:in ) / Greene, Joseph E ( Autor:in ) / Rosén, Johanna ( Autor:in )
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Erscheinungsdatum:01.01.2017
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Anmerkungen:Scopus 2-s2.0-85024128172
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
- Neue Suche nach: 530
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Schlagwörter:
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Klassifikation:
DDC: 530 -
Datenquelle: