Wafer bearing device and wafer cleaning device adopting wafer bearing device (Chinesisch)
Freier Zugriff
- Neue Suche nach: SHI XU
- Neue Suche nach: SHI XU
2021
- Patent / Elektronische Ressource
-
Titel:Wafer bearing device and wafer cleaning device adopting wafer bearing device
-
Weitere Titelangaben:晶圆承载装置及采用该晶圆承载装置的晶圆清洗装置
-
Patentnummer:CN112447571
-
Patentanmelder:
-
Patentfamilie:
-
Beteiligte:SHI XU ( Autor:in )
-
Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
-
Erscheinungsdatum:05.03.2021
-
Medientyp:Patent
-
Format:Elektronische Ressource
-
Sprache:Chinesisch
- Neue Suche nach: H01L
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
-
Klassifikation:
IPC: H01L Halbleiterbauelemente, SEMICONDUCTOR DEVICES -
Datenquelle: