Silicon-containing polymer and bottom anti-reflection coating composition and preparation method thereof (Chinesisch)
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2023
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:Silicon-containing polymer and bottom anti-reflection coating composition and preparation method thereof
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Weitere Titelangaben:一种含硅聚合物和底部抗反射涂层组合物及其制备方法
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Patentnummer:CN116478328
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:25.07.2023
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Chinesisch
- Neue Suche nach: C08F / G03F
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
IPC: C08F MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS, Makromolekulare Verbindungen, erhalten durch Reaktionen, an denen nur ungesättigte Kohlenstoff-Kohlenstoff-Bindungen beteiligt sind / G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES -
Datenquelle: