Electrostatic chuck with multiple independent power supplies (Chinesisch)
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2024
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:Electrostatic chuck with multiple independent power supplies
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Weitere Titelangaben:一种具有多个独立电源的静电卡盘
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Patentnummer:CN117558675
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:ZHANG JING ( Autor:in ) / CHEN JIONG ( Autor:in )
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:13.02.2024
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Chinesisch
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Klassifikation:
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Datenquelle: