Verfahren zum Betreiben eines Vielstrahl-Teilchenmikroskops, Computerprogrammprodukt und Vielstrahl-Teilchenmikroskop (Deutsch)
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2023
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:Verfahren zum Betreiben eines Vielstrahl-Teilchenmikroskops, Computerprogrammprodukt und Vielstrahl-Teilchenmikroskop
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Patentnummer:DE102022114923
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:BEHNKE MICHAEL ( Autor:in ) / SCHUBERT STEFAN ( Autor:in )
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:14.12.2023
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Klassifikation:
IPC: H01J Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen, ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS -
Datenquelle: