SIMULTANES KOHLENSTOFFNANORÖHRCHENWACHSTUMS-, KATALYSATORENTFERNUNGS-, BORNITRIDNANORÖHRCHENHÜLLENBILDUNGSVERFAHREN FÜR EUV PELLIKEL (Deutsch)
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2023
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:SIMULTANES KOHLENSTOFFNANORÖHRCHENWACHSTUMS-, KATALYSATORENTFERNUNGS-, BORNITRIDNANORÖHRCHENHÜLLENBILDUNGSVERFAHREN FÜR EUV PELLIKEL
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Patentnummer:DE102022131834
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:HSU PEI-CHENG ( Autor:in ) / LEE HUAN-LING ( Autor:in ) / LEE HSIN-CHANG ( Autor:in ) / LIN CHIN-HSIANG ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:27.07.2023
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
- Neue Suche nach: G03F / C01B
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
IPC: G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES / C01B NON-METALLIC ELEMENTS, Nichtmetallische Elemente -
Datenquelle: