Verfahren zum Aufbringen eines Getter-Materials auf eine Oberfläche eines Bauteils für ein Lithographiesystem (Deutsch)
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2024
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:Verfahren zum Aufbringen eines Getter-Materials auf eine Oberfläche eines Bauteils für ein Lithographiesystem
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Patentnummer:DE102023202791
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:29.02.2024
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
- Neue Suche nach: G03F / B05D / B82Y
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
IPC: G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES / B05D PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL, Verfahren zum Aufbringen von Flüssigkeiten oder von anderen fließfähigen Stoffen auf Oberflächen allgemein / B82Y Bestimmter Gebrauch oder bestimmte Anwendung von Nanostrukturen, SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES -
Datenquelle: