MEMS-BASED NANOINDENTATION FORCE SENSOR WITH ELECTRO-THERMAL TIP HEATING (Englisch)
Freier Zugriff
- Neue Suche nach: BEYELER FELIX
- Neue Suche nach: MUNTWYLER SIMON
- Neue Suche nach: BEYELER DAVID
- Neue Suche nach: BEYELER FELIX
- Neue Suche nach: MUNTWYLER SIMON
- Neue Suche nach: BEYELER DAVID
2023
- Patent / Elektronische Ressource
-
Titel:MEMS-BASED NANOINDENTATION FORCE SENSOR WITH ELECTRO-THERMAL TIP HEATING
-
Weitere Titelangaben:MEMS-BASIERTER NANOINDENTATIONSKRAFTSENSOR MIT ELEKTROTHERMISCHER SPITZENHEIZUNG
CAPTEUR DE FORCE DE NANOINDENTATION À BASE DE MEMS COMPORTANT UN CHAUFFAGE DE POINTE ÉLECTROTHERMIQUE -
Patentnummer:EP3690423
-
Patentanmelder:
-
Patentfamilie:
-
Beteiligte:
-
Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
-
Erscheinungsdatum:29.11.2023
-
Medientyp:Patent
-
Format:Elektronische Ressource
-
Sprache:Englisch
- Neue Suche nach: G01N / B81C / G01L / G01Q
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
-
Klassifikation:
IPC: G01N Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften, INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES / B81C Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen, PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS / G01L Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden, MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE / G01Q Rastersondentechniken oder Vorrichtungen hierfür, SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS -
Datenquelle: