IN-SITU DEVICE FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING MODULE (Japanisch)
Freier Zugriff
- Neue Suche nach: YOGANANDA SARODE VISHWANATH
- Neue Suche nach: STEVEN E BABAYAN
- Neue Suche nach: STEPHEN DONALD PROUTY
- Neue Suche nach: SCHMIDT ANDREAS
- Neue Suche nach: YOGANANDA SARODE VISHWANATH
- Neue Suche nach: STEVEN E BABAYAN
- Neue Suche nach: STEPHEN DONALD PROUTY
- Neue Suche nach: SCHMIDT ANDREAS
2019
- Patent / Elektronische Ressource
-
Titel:IN-SITU DEVICE FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING MODULE
-
Weitere Titelangaben:半導体プロセスモジュールのためのインサイチュ装置
-
Patentnummer:JP2019057709
-
Patentanmelder:
-
Patentfamilie:
-
Beteiligte:YOGANANDA SARODE VISHWANATH ( Autor:in ) / STEVEN E BABAYAN ( Autor:in ) / STEPHEN DONALD PROUTY ( Autor:in ) / SCHMIDT ANDREAS ( Autor:in )
-
Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
-
Erscheinungsdatum:11.04.2019
-
Medientyp:Patent
-
Format:Elektronische Ressource
-
Sprache:Japanisch
- Neue Suche nach: H01L
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
-
Klassifikation:
IPC: H01L Halbleiterbauelemente, SEMICONDUCTOR DEVICES -
Datenquelle: