DEPOSITION APPARATUS (Japanisch)
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- Neue Suche nach: MATSUMOTO YUKIO
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2022
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:DEPOSITION APPARATUS
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Weitere Titelangaben:成膜装置
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Patentnummer:JP2022061206
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:MATSUMOTO YUKIO ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:18.04.2022
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Japanisch
- Neue Suche nach: C23C / H01L / H05B
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
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Datenquelle: