The present invention relates to a 3-way heat valve for a vacuum pump. More specifically, the present invention relates to a 3-way heat valve for a vacuum pump capable of making the flow of a byproduct smooth and extending the lifespan of a pump by preventing powders from being deposited as a cartridge heater is mounted inside the valve body and on a flange to reduce the temperature difference between the central portion of the valve body and the flange. According to the present invention, the 3-way heat valve for a vacuum pump includes: an actuator provided at a lower portion thereof with a rotary shaft rotating by air introduced into and discharged from an air supply terminal; a valve body provided to receive the rotary shaft at an upper portion thereof and having a flow path in three directions; a ball assembled with the rotary shaft and rotationally provided to allow first and third fluid passages or second and third fluid passages among first, second, and third fluid passages formed inside the valve body to communication with each other; first, second, and third flanges protruding while communicating with each other to form a fluid passage from the first and second fluid passages aligned with each other in a line and the third fluid passage formed perpendicularly to the first and second fluid passages; a pair of flange band blocks (1500) assembled with each other to surround protruding outer circumferential surfaces of the first, second, and third flanges; a rod-shaped cartridge heater (1600) mounted on upper and lower corners of the valve body and received in upper and lower portions of the flange band blocks; and a case (1700) assembled to surround the valve body and the flange band blocks and provided at one side surface thereof with a power plug connected to a power line of the cartridge heater.
본 발명은 진공펌프용 3방향히트밸브에 관한 것으로, 특히 카트리지히터를 밸브몸체의 내부와 플랜지에 장착하여 밸브몸체의 중심부와 플랜지의 온도편차가 적도록 하여, 부산물의 흐름이 원활할 뿐만 아니라, 파우더의 중식을 막아 펌프의 수명을 연장시킬 수 있도록 된 진공펌프용 3방향히트밸브에 관한 것이다. 본 발명의 진공펌프용 3방향히트밸브는, 공기공급단자로 유입되고 배출되는 공기에 의해 회전하는 회전축을 하부에 구비한 엑츄에이터와, 회전축을 상측에 수용하도록 설치됨과 더불어 3방향으로 유로를 갖추도록 된 밸브몸체와, 회전축과 연결조립됨과 더불어 밸브몸체의 내부에 형성된 3개의 1,2,3유로중에서 1,3유로 또는 2,3유로 유로가 연통되도록 회전가능하게 설치된 볼과, 유로중에서 일직선상에 형성된 제1,2유로와 제1,2유로와 수직하게 형성된 제3유로에서 유로를 형성하도록 연통되게 돌출 설치된 제1,2,3플랜지를 포함하되, 상기 제1,2,3플랜지의 돌출된 외주면에 감싸여지도록 한 쌍으로 이루어져 조립 설치된 각각의 플랜지밴드블럭(1500)과, 상기 밸브몸체의 상부모서리와 하부모서리 및 각각의 플랜지밴드블럭의 상부와 하부에 수용되는 상태로 장착된 막대 형상의 카트리지히터(1600)와, 상기 밸브몸체와 플랜지밴드블럭을 감싸도록 조립설치됨과 더불어 일측면에는 상기 카트리지히터의 전원선과 연결 구성된 전원플러그가 구비된 케이스(1700)를 포함한다.