FILM FORMING APPARATUS METHOD FOR DETACHING TARGET UNIT AND METHOD FOR ATTACHING TARGET UNIT (Koreanisch)
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- Neue Suche nach: MATSUMOTO YUKIO
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2021
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:FILM FORMING APPARATUS METHOD FOR DETACHING TARGET UNIT AND METHOD FOR ATTACHING TARGET UNIT
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Weitere Titelangaben:성막 장치, 타겟 유닛의 분리 방법, 및 타겟 유닛의 부착 방법
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Patentnummer:KR20210052301
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:MATSUMOTO YUKIO ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:10.05.2021
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Koreanisch
- Neue Suche nach: C23C / H01J
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
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Datenquelle: