기판 처리 장치, 노즐 어셈블리, 기판 처리 방법, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 (Koreanisch)
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2023
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:기판 처리 장치, 노즐 어셈블리, 기판 처리 방법, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램
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Patentnummer:KR20230105685
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:SHIMADA HIRONORI ( Autor:in ) / TANABE MITSURO ( Autor:in ) / KAGAYA TORU ( Autor:in ) / HISAKADO SADAO ( Autor:in ) / KANASUGI HIDEKAZU ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:11.07.2023
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Koreanisch
- Neue Suche nach: C23C / H01L
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
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Datenquelle: