막 치밀화를 위한 펄싱 플라즈마 처리 (Koreanisch)
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2024
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:막 치밀화를 위한 펄싱 플라즈마 처리
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Patentnummer:KR20240007228
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:LI RUI ( Autor:in ) / XIE XIANGJIN ( Autor:in ) / TANG XIANMIN ( Autor:in ) / CHAN ANTHONY CHIH TUNG ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:16.01.2024
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Koreanisch
- Neue Suche nach: H01L / C23C / H01J
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
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Datenquelle: