1. Ячейка (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, содержащая:- подложку (12),- мембрану (14), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), мембрана (14) содержит отверстие (15) и краевую часть (14а), окружающую отверстие (15), причем краевая часть (14а) мембраны (14) прижата к подложке (12), и- заглушку (30), размещенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (А) полной мембранной области (А);при этом заглушка (30) контактирует с или прикреплена к подложке (12).2. Ячейка по п. 1, при этом отверстие мембраны (14) расположено в центральной области полной мембранной области (А).3. Ячейка по п. 1, при этом заглушка (30) содержит часть-ножку (30а), размещенную на подложке (12), и часть-головку (30b), размещенную на краевой части (14а).4. Ячейка по п. 1, при этом заглушка (30) содержит выемку, образованную путем удаления напряженного слоя, имеющего заданное значение механического напряжения относительно мембраны (14).5. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая напряженный слой (17) на мембране (14), причем напряженный слой имеет заданное значение механического напряжения.6. Ячейка по п. 1, при этом заглушка (30) выполнена из нитрида, диоксида кремния или их сочетания.7. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая покровный слой (40), размещенный на мембране (14) и/или заглушке (30).8. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая первый электрод (16) на или в подложке (12) и/или второй электрод (18) на или в мембране (14).9. Ячейка по п. 8, при этом второй электрод (18) является кольцевым электродом.10. Ячейка по п. 1, при этом полость (20) является кольцевой полостью.11. Ячейка по п. 1, при этом ячейка является ячейкой е
The present invention relates to a pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell (10) comprising a substrate (12), and a membrane (14) disposed above a total membrane area ((Atotal), wherein a cavity (20) is formed between the membrane (14) and the substrate (12), the membrane (14) comprising a hole (15) and an edge portion (14a) surrounding the hole (15), the edge portion (14a) of the membrane (14) being collapsed to the substrate (12). The cell further comprises a plug (30) arranged in the hole (15) of the membrane (14), the plug (30) being located only in a subarea (Asub) of the total membrane area (Atotal). The present invention further relates to a method of manufacturing such pre-collapsed capacitive micro-machined transducer cell (10).