Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus (Englisch)
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2023
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
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Patentnummer:US11626704
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:VAN DER POST SIETSE THIJMEN ( Autor:in ) / ROOBOL SANDER BAS ( Autor:in ) / EVTUSHENKO PAVEL ( Autor:in )
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:11.04.2023
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Klassifikation:
IPC: H01S Vorrichtungen, die stimulierte Emission verwenden, DEVICES USING STIMULATED EMISSION / G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES / H01J Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen, ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS / H01L Halbleiterbauelemente, SEMICONDUCTOR DEVICES / H05G X-RAY TECHNIQUE, Röntgentechnik -
Datenquelle: