DETECTION APPARATUS, DETECTION METHOD, EXPOSURE APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD (Englisch)
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2023
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:DETECTION APPARATUS, DETECTION METHOD, EXPOSURE APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
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Patentnummer:US2023229095
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:20.07.2023
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
IPC: G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES -
Datenquelle: