Substrate mounting mechanism, and substrate processing apparatus (Englisch)
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2015
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:Substrate mounting mechanism, and substrate processing apparatus
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Patentnummer:US9202728
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:HARA MASAMICHI ( Autor:in ) / GOMI ATSUSHI ( Autor:in ) / MAEKAWA SHINJI ( Autor:in ) / TAGA SATOSHI ( Autor:in ) / YAMAMOTO KAORU ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:01.12.2015
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
- Neue Suche nach: C23C / H01L
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
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Datenquelle: