In situ calibration of interferometers (Englisch)
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2016
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:In situ calibration of interferometers
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Patentnummer:US9234739
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:SYKORA DANIEL M ( Autor:in ) / KUECHEL MICHAEL ( Autor:in )
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:12.01.2016
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Klassifikation:
IPC: G01B MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS, Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen -
Datenquelle: