Apparatus for and method of temperature compensation in high power focusing system for EUV LPP source (Englisch)
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2016
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:Apparatus for and method of temperature compensation in high power focusing system for EUV LPP source
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Patentnummer:US9280053
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:ERSHOV ALEXANDER I ( Autor:in )
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:08.03.2016
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
IPC: G03B APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM, Geräte oder Anordnungen zum Aufnehmen, Projizieren oder Betrachten von Fotografien / G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES -
Datenquelle: