Illumination system for illuminating a mask in a microlithographic exposure apparatus (Englisch)
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2018
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:Illumination system for illuminating a mask in a microlithographic exposure apparatus
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Patentnummer:US9977333
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:SCHUBERT ERICH ( Autor:in ) / KOHL ALEXANDER ( Autor:in ) / ZIEGLER GERHARD-WILHELM ( Autor:in ) / PATRA MICHAEL ( Autor:in ) / DEGUENTHER MARKUS ( Autor:in ) / LAYH MICHAEL ( Autor:in )
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:22.05.2018
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
IPC: G03B APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM, Geräte oder Anordnungen zum Aufnehmen, Projizieren oder Betrachten von Fotografien / G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES -
Datenquelle: