VORRICHTUNG ZUR OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON OBJEKTEN (Deutsch)
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2018
- Patent / Elektronische Ressource
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Titel:VORRICHTUNG ZUR OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON OBJEKTEN
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Weitere Titelangaben:DEVICE FOR TREATING THE SURFACE OF OBJECTS
DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SURFACE D'OBJETS -
Patentnummer:WO2018189164
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Patentanmelder:
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Patentfamilie:
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Beteiligte:STARZMANN OLIVER ( Autor:in ) / SCHIETTINGER THOMAS ( Autor:in ) / JAHN-QUADER UWE ( Autor:in ) / SCHMITT PETER ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Europäisches Patentamt
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Erscheinungsdatum:18.10.2018
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Medientyp:Patent
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
- Neue Suche nach: G03F / B08B / H01L
- Weitere Informationen zu Internationale Patentklassifikation
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Klassifikation:
IPC: G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES / B08B Reinigen allgemein, CLEANING IN GENERAL / H01L Halbleiterbauelemente, SEMICONDUCTOR DEVICES -
Datenquelle: