An optical scanning device according to the present invention comprises: a micro mirror device (2) having a mirror part (20) that has a reflection surface (20A) which reflects incident light, a first actuator that oscillates the mirror part (20) about a first axis (a1) which is parallel to the reflection surface (20A) when the mirror part (20) is still, and a second actuator that oscillates the mirror part (20) about a second axis (a2) which is parallel to the reflection surface (20A) and orthogonal to the first axis (a1); a light source (50) for outputting a light beam (Lb); a first light detection element (51) and a second light detection element (52) for detecting the position, in a one-dimensional direction, of the light beam (Lb) reflected by the mirror part (20); and a processor for calculating, on the basis of detection signals output from the first light detection element (51) and the second light detection element (52), the amplitude of the mirror part about the first axis (a1), the amplitude of the mirror part about the second axis (a2), and the phase difference between oscillation of the mirror part (20) about the first axis (a1) and oscillation of the mirror part (20) about the second axis (a2).
Un dispositif de balayage optique selon la présente invention comprend : un dispositif à micro-miroir (2) ayant une partie miroir (20) qui a une surface de réflexion (20A) qui réfléchit la lumière incidente, un premier actionneur qui fait osciller la partie miroir (20) autour d'un premier axe (a1) qui est parallèle à la surface de réflexion (20A) lorsque la partie miroir (20) est immobile, et un second actionneur qui fait osciller la partie miroir (20) autour d'un second axe (a2) qui est parallèle à la surface de réflexion (20A) et orthogonal au premier axe (a1) ; une source de lumière (50) pour émettre un faisceau lumineux (Lb) ; un premier élément de détection de lumière (51) et un second élément de détection de lumière (52) pour détecter la position, dans une direction unidimensionnelle, du faisceau lumineux (Lb) réfléchi par la partie miroir (20) ; et un processeur pour calculer, sur la base de signaux de détection émis par le premier élément de détection de lumière (51) et le second élément de détection de lumière (52), l'amplitude de la partie miroir autour du premier axe (a1), l'amplitude de la partie miroir autour du second axe (a2), et la différence de phase entre l'oscillation de la partie miroir (20) autour du premier axe (a1) et l'oscillation de la partie miroir (20) autour du second axe (a2).
本発明の光走査装置は、入射光を反射する反射面(20A)を有するミラー部(20)と、ミラー部(20)が静止している場合の反射面(20A)に平行である第1軸(a1)の周りにミラー部(20)を揺動させる第1アクチュエータと、反射面(20A)に平行であって第1軸(a1)に直交する第2軸(a2)の周りにミラー部(20)を揺動させる第2アクチュエータとを有するマイクロミラーデバイス(2)と、光ビーム(Lb)を出射する光源(50)と、ミラー部(20)により反射された光ビーム(Lb)の一次元方向の位置を検出する第1光検出素子(51)及び第2光検出素子(52)と、第1光検出素子(51)及び第2光検出素子(52)から出力される検出信号に基づいて、ミラー部の第1軸(a1)周りの振幅と、ミラー部の第2軸(a2)周りの振幅と、ミラー部(20)の第1軸(a1)周りの揺動と第2軸(a2)周りの揺動との位相差とを算出するプロセッサと、を備える。