Provided in the embodiments of the present disclosure are an objective lens system for a scanning electron microscope, and a scanning focusing method. The objective lens system comprises a magnetic lens, a first deflection apparatus, a detection apparatus, a second deflection apparatus and a sample stage, wherein the magnetic lens comprises a main body portion and a magnetically conductive pole piece; the first deflection apparatus is located between an inner wall of the main body portion and an optical axis of an electron beam, and is used for changing a motion direction of an incident electron beam; the detection apparatus is located between the first deflection apparatus and the second deflection apparatus, and is used for receiving signal electrons generated by means of the electron beam acting on a sample under test on the sample stage; the second deflection apparatus is located between the main body portion and the magnetically conductive pole piece, and is used for changing the motion direction of the electron beam; the detection apparatus, the second deflection apparatus, the magnetically conductive pole piece and the sample stage form an electrostatic lens; and the electrostatic lens and the magnetic lens form a composite lens, which is used for focusing the electron beam.
Des modes de réalisation de la présente divulgation concernent un système de lentille d'objectif pour un microscope électronique à balayage, et un procédé de focalisation de balayage. Le système de lentille d'objectif comprend une lentille magnétique, un premier appareil de déviation, un appareil de détection, un second appareil de déviation et un porte-échantillon, la lentille magnétique comprenant une partie corps principal et une pièce polaire magnétiquement conductrice ; le premier appareil de déviation est situé entre une paroi interne de la partie de corps principal et un axe optique d'un faisceau d'électrons, et est utilisé pour changer une direction de mouvement d'un faisceau d'électrons incident ; l'appareil de détection est situé entre le premier appareil de déviation et le second appareil de déviation, et est utilisé pour recevoir des électrons de signal générés au moyen du faisceau d'électrons agissant sur un échantillon testé sur le porte-échantillon ; le second appareil de déviation est situé entre la partie de corps principal et la pièce polaire magnétiquement conductrice, et est utilisé pour changer la direction de mouvement du faisceau d'électrons ; l'appareil de détection, le second appareil de déviation, la pièce polaire magnétiquement conductrice et le porte-échantillon forment une lentille électrostatique ; et la lentille électrostatique et la lentille magnétique forment une lentille composite, qui est utilisée pour focaliser le faisceau d'électrons.
本公开实施例提供一种扫描电子显微镜物镜系统和扫描聚焦方法,其中,物镜系统包括磁透镜、第一偏转装置、探测装置、第二偏转装置以及样品台;其中:磁透镜包括主体部分和导磁极靴;第一偏转装置,位于主体部分的内壁与电子束的光轴之间,用于改变入射电子束的运动方向;探测装置,位于第一偏转装置和第二偏转装置之间,用于接收电子束作用于样品台上的待测样品产生的信号电子;第二偏转装置,位于主体部分与导磁极靴之间,用于改变电子束的运动方向;探测装置、第二偏转装置、导磁极靴和样品台形成电透镜;电透镜和磁透镜形成复合物镜,用于汇聚电子束。