Stress controlled pulsed direct current co-sputtered Al1-xScxN as piezoelectric phase for micromechanical sensor applications (Englisch)
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In:
APL materials
;
3
, 11
;
2015
- Aufsatz (Zeitschrift) / Elektronische Ressource
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Titel:Stress controlled pulsed direct current co-sputtered Al1-xScxN as piezoelectric phase for micromechanical sensor applications
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Beteiligte:Fichtner, S. ( Autor:in ) / Reimer, T. ( Autor:in ) / Chemnitz, S. ( Autor:in ) / Lofink, F. ( Autor:in ) / Wagner, B. ( Autor:in )
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Erschienen in:APL materials ; 3, 11
-
Verlag:
- Neue Suche nach: Fraunhofer Publica
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Erscheinungsdatum:2015
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Datenquelle: