Verfahren zur Optimierung der Laser- oder Teilchenstrahlinduzierten Abscheidung von Material aus einem ueber eine Duese auf ein Substrat zugefuehrtem Gasstrom und mikromechanischer Gasflusssensor zur Durchfuehrung des Verfahrens (Deutsch)
Freier Zugriff
- Neue Suche nach: Bruenger, W.
- Neue Suche nach: Bruenger, W.
1991
- Patent / Elektronische Ressource
-
Titel:Verfahren zur Optimierung der Laser- oder Teilchenstrahlinduzierten Abscheidung von Material aus einem ueber eine Duese auf ein Substrat zugefuehrtem Gasstrom und mikromechanischer Gasflusssensor zur Durchfuehrung des Verfahrens
-
Beteiligte:Bruenger, W. ( Autor:in )
-
Verlag:
- Neue Suche nach: Fraunhofer Publica
-
Erscheinungsdatum:1991
-
Anmerkungen:Patentblatt, Vol.111 (1991), No.21
-
Medientyp:Patent
-
Format:Elektronische Ressource
-
Sprache:Deutsch
-
Datenquelle: