Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren (Deutsch)
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2013
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ISBN:
- Hochschulschrift / Elektronische Ressource
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Titel:Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren
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Beteiligte:Weinreich, Wenke ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Fraunhofer Verlag, Stuttgart
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Erscheinungsdatum:2013
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ISBN:
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Medientyp:Hochschulschrift
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Schlagwörter:
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Datenquelle: