Fabrication of distortion free x-ray masks using low stress tungsten (Englisch)
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- Neue Suche nach: Ku, Yao-Ching
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1992
- Hochschulschrift / Elektronische Ressource
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Titel:Fabrication of distortion free x-ray masks using low stress tungsten
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Beteiligte:Ku, Yao-Ching ( Autor:in )
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Verlag:
- Neue Suche nach: Massachusetts Institute of Technology
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Erscheinungsdatum:1992
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Format / Umfang:115 pages
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Anmerkungen:Thesis (Ph. D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Electrical Engineering and Computer Science, 1992.
Includes bibliographical references (leaves 113-115). -
Medientyp:Hochschulschrift
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle: