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Da sich Reibungs- und Verschleissphaenomene in der Oberflaeche fester Koerper abspielen, bedarf es zur Untersuchung der dabei ablaufenden Vorgaenge analytischer Techniken, die speziell duenne Schichten erfassen und nach Moeglichkeit die Kopplung mit mikroskopischen Methoden erlauben. Das Rasterelektronenmikroskop gestattet einerseits die Abbildung von Oberflaechen mit grosser Schaerfentiefe, andererseits die Durchfuehrung von Mikroanalysen auf der Basis der Roentgenfluoreszenz und des Augereffektes. Damit koennen Oberflaechenschichten von einigen mym Dicke bis herab in den Monolagenbereich mit hohem raeumlichen Aufloesungsvermoegen analysiert werden. Als integrale Oberflaechenanalysenmethode wird die roentgenstrahlangeregte Photoelektronenspektroskopie (ESCA) vorgestellt. Sie erlaubt insbesondere die Charakterisierung von Oberflaechenverbindungen.