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In der Einleitung wird kurz das Prinzip der Methode angefuehrt. Die Charakteristik eines Mikroanalysators wird anhand eines Schemas erlaeutert. Um bei Anwendung dieser Methode besser die Bedingungen fuer die Anwendung abzustecken, sind genaue Beschreibungen fuer die Durchfuehrung einer punktfoermigen, geradlinigen und flaechenfoermigen Spektral-Roentgenmikroanalyse angefuehrt. Die zu erzielende Genauigkeit und die Empfindlichkeitsgrenzen fuer die im Silicium und Eisen vorkommenden Elemente werden gleichfalls behandelt. Anwendungsbeispiele dieser Methode bei der Entwicklung von Halbleiter- und elektronischen Bauelementen sind angefuehrt.