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Excimer-Laser wurden fuer Wellenlaengen von Gruen bis UV entwickelt; am vielversprechendsten erscheinen die Edelgasmonohalogenide. Die Wellenlaengen der verschiedenen Spezies werden tabellarisch zusammengestellt. Excimer-Laser erfordern hohe Pumpraten, um den Schwellwert zu erreichen. Dazu werden relativistische Elektronenstrahlen, schnelle transversale Entladungen und elektronenstrahlstabilisierte Entladungen verwendet. Direktes nukleares Pumpen ueber Spaltreaktionen im Laser wird untersucht. Die Pulslaenge der Laser kann durch Modenkopplung verkuerzt werden. Durch Pumpen anderer Molekuele mit dem Excimer-Laser und Raman-Streuung sind Wellenlaengenaenderungen erzielbar. Bisher wurden 700 mJ-Pulse von etwa 20 ns Dauer und einem totalen Wirkungsgrad ueber 1 % erreicht.