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Die Leistungfaehigkeit eines SEM wird wesentlich von den Elektronenstreuungsverhaeltnissen bestimmt. Grosse topologische Details sind bei Stoffproben mit hoher Atomzahl zu erkennen, wenn der Elektronenstreueffekt maximiert wird. Dies laesst sich durch einen Probenueberzug mit einem Metall hohen Z-Wertes erreichen sowie mit besonders niedriger Beschleunigungsspannung und kleinstem konstanten Strahldurchmesser. Ueber die Rueckstreuelektronenverhaeltnisse, die Aufloesungsgrenzen bei Abbildungen mit rueckwaerts und vorwaerts streuenden Primaerelektronen sowie ueber die von der Atomzahl abhaengigen Bildkontrastbedingungen, die Erzeugung von Sekundaerelektronen und ueber die Vor- und Nachteile beider Elektronenstreuarten wird berichtet. Hinweise zur Abbildung feuchter biologischer Proben durch rueckwaerts streuende Elektronen werden gegeben.