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Zur quantitativen Erfassung einzelner aufloesungsbegrenzender Faktoren im STEM wurde ein Durchstrahlungsraster-Elektronenmikroskop mit Feldemissionskathode konstruiert und gebaut. Bei Voruntersuchungen an einem STEM mit thermischer Kathode und an einem elektronenoptischen Mikroschreiber wurde zunaechst die Entstehung der Kontamination und deren aufloesungsbegrenzender Einfluss untersucht. Die Untersuchungen fuehrten unter anderem dazu, die Gummidichtungen im Objektbereich durch Silber-Indium-Dichtungen zu ersetzen, wonach eine Kontaminationsreduzierung um den Faktor 30 gemessen wurde. Aufbauend auf festkoerperkorrigierenden Berechnungen von normierten Stromdichteverteilungen fuer elastische und inelastisch gestreute Elektronen wurde auf die Bedeutung der Streuverteilung geschlossen. Weiterhin wurden die Einfluesse von Spitzenprozessierungen auf das Aufloesungsvermoegen untersucht.