Event-discriminating algorithm-automatic defect/particulate detection system (semiconductor wafer production line application) (Englisch)
In:
IBM Technical Disclosure Bulletin
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27
, 12
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7143-7148
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1985
- Aufsatz (Zeitschrift) / Print
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Titel:Event-discriminating algorithm-automatic defect/particulate detection system (semiconductor wafer production line application)
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Weitere Titelangaben:Algorithmus zur Ereignisunterscheidung wobei automatisch anomale Ereignisse festgestellt werden (Teilchen oder Musterdefekte bei der Wafer-Produktion)
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Erschienen in:IBM Technical Disclosure Bulletin ; 27, 12 ; 7143-7148
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:1985
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Format / Umfang:6 Seiten
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:DIGITALE BILDVERARBEITUNG , QUALITAETSUEBERWACHUNG , INSPEKTION , FERTIGUNGSSTRASSE , BILDVERARBEITUNG , BILDERKENNUNG , WAFER (HALBLEITERPLAETTCHEN) , HALBLEITERBAUELEMENT , FERTIGUNG , RECHNERUNTERSTUETZUNG , INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNG , QUALITAETSKONTROLLE , TEILCHEN (ATOM) , VERUNREINIGUNG , EREIGNIS , ALGORITHMUS , FERTIGUNG INTEGRIERTER SCHALTUNGEN , DIGITALE BILDERKENNUNG , RECHNERUNTERSTUETZTE ELEKTRONIK
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Datenquelle: