Fabrication of ultrasmall devices on thin active GaAs membranes (Englisch)
- Neue Suche nach: Lee, K.Y.
- Neue Suche nach: Frost, J.
- Neue Suche nach: Stanley, C.
- Neue Suche nach: Patrick, W.
- Neue Suche nach: Mackie, W.S.
- Neue Suche nach: Beaumont, S.P.
- Neue Suche nach: Wilkinson, C.D.W.
- Neue Suche nach: Lee, K.Y.
- Neue Suche nach: Frost, J.
- Neue Suche nach: Stanley, C.
- Neue Suche nach: Patrick, W.
- Neue Suche nach: Mackie, W.S.
- Neue Suche nach: Beaumont, S.P.
- Neue Suche nach: Wilkinson, C.D.W.
In:
Journal of Vacuum Science and Technology, Part B (Microelectronics Processing and Phenomena)
;
5
, 1
;
322-325
;
1987
- Aufsatz (Zeitschrift) / Print
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Titel:Fabrication of ultrasmall devices on thin active GaAs membranes
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Weitere Titelangaben:Herstellung von ultrakleinen Strukturen auf duennen aktiven Galliumarsenid-Membranen
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Beteiligte:Lee, K.Y. ( Autor:in ) / Frost, J. ( Autor:in ) / Stanley, C. ( Autor:in ) / Patrick, W. ( Autor:in ) / Mackie, W.S. ( Autor:in ) / Beaumont, S.P. ( Autor:in ) / Wilkinson, C.D.W. ( Autor:in )
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Erschienen in:
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:1987
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Format / Umfang:4 Seiten, 13 Quellen
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle: