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Eine Alternative zur Werkzeugbeschichtung nach dem CVD (chemical vapour deposition)-Verfahren, das wegen seiner Temperaturen von ueber 800 Grad C und die dadurch bedingte aufwendige Nachbehandlung der meisten Werkzeugstaehle durch die Formveraenderung beim Anlassen Nachteile besitzt, ist das PVD (physical vapour deposition)-Verfahren, das mit 500 Grad C unterhalb der Anlasstemperatur der meisten Werkzeugstaehle durchgefuehrt wird. Nach Art der Werkstoffwahl und der Substratbefestigung werden Aufdampen in Hochvakuum, Aufstaeuben oder Sputtern und Ion Plating als PVD-Verfahren unterschieden. Als Merkmale der PVD-Hartstoff-Beschichtung gelten Ionenbeschuss des Substrats und Ionisierung des Metalldampfes und der reaktiven Gase. Die Oberflaechenstruktur der Beschichtung und der Schichtendickebereich werden von der Anwendung bestimmt und sind unmittelbar abhaengig von der Oberflaechenqualitaet des Grundwerkstoffes. Die Beschaffenheit und die Anwendungsbereiche der Werkzeuge sind Kriterien fuer die Wahl von Beschichtungsanlagen und -verfahren. Fuer die PVD-Beschichtung geeignete Werkzeuge sind Spiralbohrer, Gewindebohrer, Reibahlen, Raeumwerkzeuge, Drehwerkzeuge, Kreisfraeser und Saegen, Stanzwerkzeuge, Umformwerkzeuge und Giessformen, deren Beschichtung unter dem Aspekt der Standzeit beschichteter Werkzeuge in verschiedenen Staehlen, der Verschleissarten, Verschleisszeiten sowie der Oberflaechenbeschaffenheit beschichteter Werkzeuge beurteilt werden muss. Darueber hinaus gibt es fuer PVD-Hartstoff-Beschichtungen auch Anwendungsmoeglichkeiten in der Kunststoff- und Papier- und Holzverarbeitung. (BAM-DS)