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Die Ergebnisse der Werkstoffbearbeitung mit Laser- und Elektronenstrahlen haengen von den Strahleigenschaften ab. Es muessen beim Laserstrahl radiale Intensitaetsverteilung, Kaustik des unfokussierten und des fokussierten Strahles, Polarisationszustand und die zeitlichen Aenderungen von Intensitaetsverteilung und Polarisationszustand beruecksichtigt werden. Durch die laserinduzierten Plasmen veraendern sich Fokusradius und Laserintensitaet. Auch beim Elektronenstrahlbearbeiten wirken intensitaetsabhaengige Prozessgroessen wie Dynamik der Dampfkapillare. Bei der Diagnostik ist zusaetzlich zu beachten, dass beim Laserstrahl durch Reflektion von Strahlen vom Werkstueck zurueck in das Lasersystem eine enge Kopplung von dynamischen Vorgaengen in der Bearbeitungszone und im Lasersystem selbst erfolgt. Aus Messungen an frei laufenden Laserstrahlen kann man deshalb nicht auf das Strahlverhalten im Bearbeitungsprozess schliessen. Die zeitliche und oertliche Aufloesung des Diagnosesystems muessen deshalb dem jeweiligen Arbeitsprozess angepasst werden. Dies ist bei Elektronenstrahlen nicht noetig. Fuer das Bestimmen der Leistungsverteilungen im Laserstrahl werden drei verschiedene Verfahren vorgestellt. Sie arbeiten mit Strahlteilern, die wenige Prozent der Laserleistung auskoppeln. Andere Verfahren arbeiten mit hochreflektierenden Elementen, z. B. Draehten oder Speichen, die durch den Laserstrahl rotieren und einen Bruchteil der Strahlung auf Detektoren reflektieren. Die Signale von zweidimensionalen Abtastungen werden digitalisiert und lassen sich in einer 3-D-Grafik darstellen. Die Eigenschaften von Elektronenstrahlen lassen sich mit Hilfe eines Faraday-Bechers relativ einfach nachweisen. Ein Bestimmen der Leistungsverteilung ist mit Hilfe von aehnlichen Verfahren wie beim Laserstrahl moeglich. Es wird eine Schneide, ein Schlitz oder ein Pinhol fuer die Strahlablenkung genutzt. Geraete, die nach dem vorgestellten Verfahren arbeiten, sind bereits zum Teil im Handel erhaeltlich. (BAM-DS)