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Es wurde die Temperaturabhaengigkeit der Sputterausbeute und die Energieverteilung der Sputteratome mit Hilfe eines Standardmodells fuer thermische Spikes untersucht. Fuer die Ausbeute ergibt sich ein Hochtemperatur- und ein Tieftemperatur-Bereich der Verteilung. Die Hochtemperaturkomponente der Ausbeute haengt nur wenig von der Targettemperatur ab. Die Tieftemperaturkomponente ist bestimmt durch das Langzeitverhalten der Spikes und liefert messbare Ausbeuten innerhalb von Zeitintervallen, in denen sich Spikes ueberlagern. Die Bedeutung der Zeitkonstanten fuer die makroskopische Waermeleitung wird diskutiert. Die Ergebnisse liefern einen Rahmen fuer das Verstaendnis der Sputterraten von Metallen. Sie sind darueber hinaus in Einklang mit den Sputterraten fuer Isolatoren.