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Zur Erhöhung der Transmission werden poröse Sol-Gel-SiO2-Schichten mittels kostengünstigen Tauchbeschichtungsverfahren auf Kieselglas, Floatglasscheiben und Si-Wafer abgeschieden, um den Wirkungsgrad von Solarkollektoren zu erhöhen. Der beobachtete Alterungsprozeß dieser Antireflexionsschichten wurde intensiv untersucht, da er mit Transmissionseinbußen einhergeht und schon relativ früh einsetzt. Es handelt sich um einen reversiblen Alterungsprozeß, der durch Tempern bei 500 Grad C oder Reinigung der Proben mit einem polaren Lösungsmittel wie Wasser oder Aceton wieder rückgängig gemacht werden kann. Die Probe wurde mit Atomkraftmikroskopie und Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (SNMS) analysiert. Nach Lagerung im Exsikkator wurden CaCO3 (Calcit) Kristalle auf der Oberfläche nachgewiesen, ferner konnten mit SNMS Anreicherungen von Alkalien und Erdalkalien in der Schicht verfolgt werden. Eine deutliche Abhängigkeit der Alterung der Schicht mit Zunahme der Na-Ionen in der Kieselsol-Schicht wurde beobachtet. Die Ergebnisse weisen auf einen zweistufigen Alterungsprozeß hin. Bereits in den ersten Wochen treten Reaktionen der Na-Ionen aus der Schicht mit dem CO2 der Luft auf, die zu Korrosionsprodukten und damit zu Transmissionseinbußen führen. Der substratabhängige zweiter Alterungsprozeß tritt erst nach einigen Monaten auf. Hier diffundiert das Ca aus dem Substrat an die Oberfläche, wo es mit dem CO2 der Luft zu CaCO3 reagiert. Daher sollte man für poröse SiO2-Schichten in Solarkollektoren Kieselsole mit einem möglichst geringen Natriumgehalt verwenden. Gleichzeitig kann durch Anlegen von Vakuum oder durch Edelgasfüllungen in den Doppel- bzw. Dreifachverglasungen der Kollektoren die Alterung minimiert werden.