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CVD-Diamantschichten sind sehr vielversprechende Verschleißschutzschichten für stark beanspruchte Stahlbauteile und Stahlwerkzeuge. Um diese große industrielle Anwendungsmöglichkeit der Diamantschichten zu realisieren, muß vor allem das Haftungsproblem der Diamantschichten auf Stahl gelöst werden. Der Lösungsweg ist in der Anwendung von Zwischenschichten zu finden. Die Zielsetzung dieser Arbeit ist es, Zwischenschichten für haftfeste Diamantschichten auf Stahl zu entwickeln. Im Rahmen der Arbeit wurden verschiedene Zwischenschichten für die CVD-Diamantabscheidungen auf Stahl sowohl mit der Finite-Elemente-Methode (FEM) als auch experimentell untersucht. Die Ergebnisse zeigen eine Übereinstimmung der FE-Rechnungen mit den Experimenten. Die schlechte Haftung der CVD-Diamantschichten auf Stahl ist auf die großen Unterschiede in den E-Modulen, Poisson-Zahlen, und vor allem den Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Diamant und Stahl zurückzuführen. Die beim Abkühlen von der Beschichtungstemperatur auf Raumtemperatur entstehende maximale Schubspannung in den Diamantschichten in den Ecken der Probe verursacht das Versagen der Diamantschichten. Durch die Zwischenschichten werden die Schubspannungen in den Ecken der Probe umverteilt und die Schubspannungsspitzen im Diamant-Zwischenschicht-Stahlsubstrat-System reduziert. Damit wird die Haftfestigkeit der Diamantschichten verbessert. Die FE-Rechnungen zeigen, daß eine dicke Gradientenschicht mit einer kontinuierlichen Variation der Eigenschaften zwischen Stahl und Diamant als Zwischenschicht für den Abbau der Schubspannungsspitzen im gesamten Diamant-Zwischenschicht-Stahlsubstrat-System am besten geeignet ist. Daher wurden in der Arbeit Abscheidungen von neuartigen Diamant-TiC-Gradientenschichten mittels HF-CVD-Verfahren entwickelt. Die Entwicklung der Gradientenschichten ist ein wichtiger Schritt für die Lösung des Haftungsproblems,