Fabrication of multilevel reflective diffractive optical elements by means of laser ablation lithography (Englisch)
- Neue Suche nach: Aubry, S.
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- Neue Suche nach: Schunck, J.P.
- Neue Suche nach: Fontaine, J.
- Neue Suche nach: Montgomery, P.
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- Neue Suche nach: Schunck, J.P.
- Neue Suche nach: Fontaine, J.
- Neue Suche nach: Montgomery, P.
In:
Photon Management, 2004
;
412-420
;
2004
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ISSN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Fabrication of multilevel reflective diffractive optical elements by means of laser ablation lithography
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Beteiligte:Aubry, S. ( Autor:in ) / Gerard, P. ( Autor:in ) / Flury, M. ( Autor:in ) / Benatmane, A. ( Autor:in ) / Schunck, J.P. ( Autor:in ) / Fontaine, J. ( Autor:in ) / Montgomery, P. ( Autor:in )
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Erschienen in:Photon Management, 2004 ; 412-420
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:2004
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Format / Umfang:9 Seiten, 19 Quellen
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ISSN:
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Coden:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:Beugungsgitter (Optik) , Ätzen , Zeitbereichanalyse mittels finiter Differenzen , Photoablation , Laserstrahl , optische Polarisation , optische Reflexion , Entwurfstechnik optischer Elemente , optische Fertigung , optische Mikroskopie , Photolack , Strahlformung , Füllfaktor , Photolithographie , Kohlendioxid
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Datenquelle: