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Die Arbeit verfolgte das Ziel, Halbleiter-Gassensoren mit plasmapolymerisierten Membranen auszustatten, um ein Gassensorsystem mit erhöhter Selektivität herzustellen. Dies beinhaltete die Entwicklung und Herstellung eines Gassensor-Arrays, welches Mikroaktivitäten und eine Mikrofluidik aufweist, so dass eine Array von Kompartimenten entsteht, die mit verschiedenen Membranen abgedeckt werden können. Im Hinblick auf die Herstellung der Plasmapolymermembranen wird auf Untersuchungen der Eigenschaften der Membranen zurückgegriffen, die zeigen, dass sie zum einen auf Grund ihrer gasselektiven Eigenschaften für die Anwendung in der Gassensorik geeignet sind und zum anderen durch die Herstellung mit Hilfe eines Dünnschichtprozesses mit den Herstellungsprozessen von Dünnschicht-Gassensoren kompatibel sind. Das Sensor-Array umfasst vier Sensorelemente, die aus je einem Gassensor-Paar basierend auf einer Zinkoxid-Dünnschicht, einem Platin-Temperaturfühler und einer Platin-Heizleitung bestehen. Eine Erhöhung der Empfindlichkeit und eine zusätzliche Selektivitätssteigerung wird durch den Einsatz unterschiedlicher Katalysatordünnschichten auf den Sensoren erreicht. In das Siliziumsubstrat, auf dem das Sensorarray aufgebaut ist, werden durch Tiefenätzprozesse auf Vorder- und Rückseite Kanäle eingebracht. Die Verbindung des Substrats durch einen Bondprozess mit Pyrexglas-Elementen, die einerseits die Mikrokammern und andererseits Öffnungen für die Spülgasversorgung beinhalten, liefert ein dreidimensionales Mikrosystem, das durch die Abdeckung der Kammern mit dem Membranen-Array vervollständig wird. Die Charakterisierung der gassensitiven Eigenschaften des Gassensor-Mikrosystems erfolgte in einem an die Geometrie des Systems angepassten Messplatz. Die Wirkung des Membranen-Arrays auf die gassensitiven Eigenschaften des Systems konnte durch die Änderung der Sensorsignale in Abhängigkeit vom Spülfluss durch das System nachgewiesen werden. Die Auswertung der Messdaten mit Hilfe der Hauptkomponentenanalyse zeigt eine klare Unterscheidbarkeit der Sensorsignale, die bei Wasserstoff-Exposition gemessen wurden, gegenüber den Signalen bei Begasung mit Methan und Propan.