Coplanar grazing exit X-ray diffraction on thin polycrystalline films (Englisch)
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In:
European Powder Diffraction Conference, 11
;
157-162
;
2009
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ISSN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Coplanar grazing exit X-ray diffraction on thin polycrystalline films
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Weitere Titelangaben:Röntgenstrahlbeugung mit koplanar streifendem Ausgang bei polykristallinen Dünnschichten
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Beteiligte:
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Erschienen in:Zeitschrift für Kristallographie: Supplement Issue ; 30, 1 ; 157-162
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Verlag:
- Neue Suche nach: Oldenbourg
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Erscheinungsort:München
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Erscheinungsdatum:2009
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Format / Umfang:6 Seiten, 3 Bilder, 1 Tabelle, 11 Quellen
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ISSN:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:Dünnschicht , polykristalliner Stoff , Titandioxid , Röntgenbeugung , Austrittswinkel , Strahlengeometrie , Versuchsschema , Verfahrensparameter , Messtechnik , Schichtdicke , Dickenabhängigkeit , Tiefenprofil (Abstand unter Oberfläche) , Laborversuch , Korrektur , Linienverbreiterung , Auflösungsvermögen (Messtechnik) , Modellsimulation , Tagungsbericht
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Datenquelle: