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In dem Projekt FlexNet wurden grundlegende Untersuchungen zur Abscheidung von Barriereschichten durchgeführt. Diese dienten als Barriere zwischen Substrat und CIGS-DÜnnschichtsolarzellen. Als Substrat wurden aus Kostengründen sowohl Polyimidfolie als auch unpoliertes Stahlblech verwendet, so dass die Barriereschicht sowohl isolierende als auch diffusionshemmende Eigenschaften aufweisen musste. Die Schichten wurden in einem Mikrowellen-PECVD-Prozess im Niederdruck abgeschieden. Es wurden die Abscheideparameter wie die Mikrowellenleistung, die Substratvorspannung und die Prozessgase variiert und deren Einfluss auf die Morphologie und die chemische Zusammensetzung der Schichten bestimmt. Dabei wurden sowohl eine Substratvorspannung als auch eine in-situ FTIR-Spektroskopie zur Beobachtung des Schichtaufbaus während des Beschichtungsvorgangs an die bestehende Beschichtungsanlage adaptiert. Das Diffusionsverhalten der Schichten auf Polyimidfolien wurde mit Hilfe eines Sauerstoff- und Wasserdampfpermeationsmessstands bestimmt. Die Isolation der Schichten auf Metall wurde mit einem am IPF entwickelten Elektrolyseverfahren getestet. Mit diesem konnten auch Fehlstellen lokalisiert und anschließend im Raster-Elektronen-Mikroskop analysiert werden.